微機電系統(tǒng)（MEMS）是一種可定義為晶圓級微型機械和機電元件的技術(shù)。這使得 MEMS 技術(shù)能夠嵌入到可以集成在印刷電路上的芯片上，就像任何其他電子元件一樣。
設(shè)備由集成微電子控制下的機電元件（移動或不動）組成。
MEMS 的功能元件是微型結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器和微電子器件。微傳感器和微執(zhí)行器被歸類為傳感器，是將測量的機械信號轉(zhuǎn)換為電信號的設(shè)備。
微型傳感器現(xiàn)在可用于各種測量，例如溫度、壓力、磁場或慣性測量。
我們的 IMU 選用了高質(zhì)量的 MEMS 元件。與機械或 FOG 陀螺儀或伺服加速度計等競爭技術(shù)相比，這種 MEMS 技術(shù)具有許多優(yōu)勢：
? 微型設(shè)計提供了更小、更輕的產(chǎn)品，從而能夠覆蓋新的應(yīng)用。
? 該技術(shù)非常堅固，具有更高的抗沖擊性以及免維護操作。
? 與 FOG 或 RLG 等其他技術(shù)相比，MEMS 設(shè)計提供了具有成本效益的解決方案。
盡管相同的 MEMS 技術(shù)也用于智能手機和平板電腦等消費類應(yīng)用，但低成本 MEMS 與導(dǎo)航級 MEMS 傳感器之間存在非常大的性能差距。
IMU 專為惡劣環(huán)境而設(shè)計。具體的發(fā)展帶來了高效的振動處理。
當(dāng)受到振動時，加速度計或陀螺儀的偏差會增加。這種振動對加速度計的影響稱為 VRE。因此，一個好的起點是選擇具有低 VRE 的傳感器，以承受更高水平的振動。
第二點是設(shè)計高效的硬件和軟件信號處理，特別是高頻采樣（>1kHz）將防止混疊問題并提高傳感器數(shù)據(jù)分辨率。
? 3DM-GX5-GNSS/AHRS 高性能 GNSS 導(dǎo)航傳感器
? 3DM-GX5-IMU 高性能慣性測量單元（IMU）
? 3DM-CV5-IMU 嵌入式慣性測量單元
? Advanced Navigation Orientus MEMS AHRS 傳感器
